公元前
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在卡尔·雅斯贝尔斯提出的軸心世紀（約西元前 800-200），唯物主義在歐亞大陸上許多地理上相隔絕的地區，可能各自獨立的，發展起來。
在古代印度，由於阿耆多·翅舍钦婆罗、Payasi（英语：Payasi）、Kanada（英语：Kanada）與顺世论學派的支持者的努力，唯物主義在西元前 600 年左右開始發展。其中 Kanada 是早期原子論的支持者之一。活躍於西元前 600 年至前 100 年的正理论胜论聯合學派發展出原子論的早期形式，但是他們不能算是唯心主義者，因為他們嘗試證明神存在，並且認為人的意識不是物質的一部份。接著，佛教原子論（英语：Buddhist atomism）學派與耆那教延續了支持原子論的傳統。
在古希臘，留基伯、德谟克利特和伊壁鸠鲁等原子論者為後來的唯物主義起了開端。卢克莱修（前 99 - 前 55）所著的拉丁文哲理長詩《物性論》闡述德谟克利特與伊壁鸠鲁的原子論哲學，也就是，所有存在的事物，不是物質就是真空，所有的物質現象均源自一些基本粒子的移動或互相混合，而這些基本粒子被稱為「原子」，意思是不可分割的物質。《物性論》給出物質現象的機械論解釋，例如解釋侵蝕作用、蒸發作用、風和聲音是怎麼形成的。此外，《物性論》中也首次提出許多現今知名的原理，例如「只有物體才能接觸到物體」。然而，德谟克利特與伊壁鸠鲁不主張一元論，因為他們在本體上將物質與空間區分開來，換言之，空間是本體上不同於物質的存在。因此可以說，他們的理念比當今的唯物主義來的寬鬆。
公元后
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東漢時期的中國思想家王充被視為是唯物主義者[8]。
接著在6世紀，印度唯物主義者賈亞拉西·博塔（英语：Jayarāśi Bhaṭṭa）完成著作 《Tattvopaplavasimha》（意為惱人的一切原則），並在其中駁斥《正理經》提出的知識論。然而，從以下的例子可以看出，印度到了15世紀之後，傾向唯物主義的顺世论哲學逐漸式微。在14世紀，Madhavacharya（英语：Madhavacharya_of_Sringeri）編著《Sarva-darśana-samgraha》（意為消化所有哲學），但其中卻沒有引用，甚至沒有提到，任何關於順世論哲學的文字[9]。
而在阿拉伯世界，在12世紀前期的安达卢斯，哲學家伊本·图费勒在其哲學小說 《哈义·本·叶格赞的故事》中討論了唯物主義哲學[10]，並隱隱約約預示了历史唯物主义的想法[11]。
近代哲學
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托马斯·霍布斯[12]和皮埃尔·伽桑狄是延續唯物主義傳統的代表，與他們相對的，是勒内·笛卡尔對自然科学提出的二元論。接著出現的是唯物主義論者兼無神論者讓·梅葉，以及其他法國哲學家，例如拉·美特利、保爾·霍爾巴赫、德尼·狄德罗 以及啟蒙時代的其他法國思想家。在英國，行路者史都華（英语：Walking Stewart）則認為所有的物質都被賦予道德價值，這個觀點構成了哲學詩人威廉·华兹华斯的主要觀點。
接著後近代哲學時期，德國辩证唯物主义者兼無神論人類學家路德维希·费尔巴哈標誌著唯物主義的轉變，其著作《基督教的本质》(1841) 將宗教的人文主义情懷描述為人類內在本性的外在投射。
歷史上，唯物主義的觀念起源自，維持人類生活下去所做的生產行為，和在生產中所產生的物質交換是所有社會的結構這個概念之中。也就是在所有歷史上出現過的人類社會之中，根據人們生產的物質，以及生產的方法，而將財富分配下去，以及將人歸分成不同群體，或階級的方式。在這個觀點之下，社會改變與政治革命的最終影響並不是由人類的意志所造成，也不是由人類對終極真理及正義的更好洞見所造成，而是由人類得物質生產及交換模式的給變所造成。它們不是根據哲學，而是跟去該時代的經濟狀況去造成改變的。
——弗里德里希·恩格斯，《社會主義從空想到科學的發展》另一個值得注意的自然主義學派是德國唯物主義學派，他們從 19 世紀中葉開始發展，成員包括路德維希·畢希納（英语：Ludwig Büchner）、雅各‧莫萊斯霍特（英语：Jacob Moleschott）、卡尔·福格特[13][14]。
當代哲學
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分析哲學
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當代分析哲學家在一個廣泛的物理主义或形而上自然主義框架下做討論，提出與將容納人類心灵於理論中的不同觀點，例如功能主義 (心靈哲學)、變異一元論（英语：anomalous monism）、等同理論（英语：Identity theory of mind）等等[15]，代表人物有丹尼爾·丹尼特、威拉德·冯·奥曼·蒯因、唐纳德·戴维森和杰瑞·福多。
科學唯物主義常常被與同一說劃上等號，或者視為意義相近的詞彙。20世紀早期，保羅·丘奇蘭德（英语：Paul Churchland）和派翠西亞·徹蘭（英语：Patricia Churchland）主張一個更為激進的想法取消唯物主義，認為一切心靈的現象都不存在，而僅僅是由民俗心理學（英语：folk psychology）和內省錯覺（英语：introspection illusion）反映出的虛假的結果而已。取消唯物主義者相信，像「相信」這種事是沒有任何基礎的，就像民俗學家相信邪靈引起疾病一樣。事實上，同一說與取消唯物主義站在兩個極端，前者認為理論導致事實，後者認為部分舊的理論會被新發現的事實推翻，而修正唯物主義（英语：revisionary materialism）則某種程度上介於中間[15]。
大陸哲學
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當代歐陸哲學家吉尔·德勒兹和墨西哥的纽尔·德兰达（英语：Manuel DeLanda）企圖重建並加強唯物主義[16]，他們所提出的新的理念被稱為新唯物主義[17]。